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中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡SEM在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

NS系列接觸式表面形貌臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。單拱龍門式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響，提高了測(cè)量精度。

CEM3000系列臺(tái)式掃描電子顯微鏡儀器采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高，使得鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡能夠在較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測(cè)效率，節(jié)省了時(shí)間成本，特別適用于需要快速獲取結(jié)果的應(yīng)用場(chǎng)景，如工業(yè)生產(chǎn)中的質(zhì)量控制、快速篩選樣品等。

CEM3000自主化SEM掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高，使得鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡能夠在較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測(cè)效率，節(jié)省了時(shí)間成本，特別適用于需要快速獲取結(jié)果的應(yīng)用場(chǎng)景.

VT6000系列納米級(jí)共聚焦成像顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)，保證儀器的高測(cè)量精度。主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。

SuperViewW系列高精度光學(xué)輪廓白光干涉儀以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。